تعمل مضخة التفريغ ذات الضغط السلبي عن طريق استخلاص جزيئات الغاز ميكانيكيًا أو فيزيائيًا من مساحة مغلقة، مما يخلق بيئة ضغط سلبي أقل من الضغط الجوي داخل حجرة المضخة. مبدأها الأساسي هو-الدوران عالي السرعة أو الحركة الترددية للأجزاء المتحركة مثل الدوارات أو الشفرات أو الدوامات، والتي تسحب الغاز من خلال المدخل، وتضغطه، ثم تفرغه عبر المخرج، مما يؤدي إلى بيئة مفرغة. يمكن تقسيم العملية المحددة إلى الخطوات الثلاث التالية:
مرحلة السحب: يدخل الغاز إلى غرفة المضخة من خلال منفذ السحب (على سبيل المثال، قطر 40 مم). في هذا الوقت، يتحرك الدوار أو الشفرات، مما يزيد من حجم الغرفة ويقلل الضغط الداخلي.
مرحلة الضغط: مع استمرار الأجزاء المتحركة في الدوران (على سبيل المثال، 1470 دورة في الدقيقة)، يتم ضغط الغاز إلى ضغط التفريغ (على سبيل المثال، ضغط بخار الماء 32 ملي بار).
مرحلة التفريغ: يتم تفريغ الغاز المضغوط من خلال صمام التفريغ. في نفس الوقت، نظام تزييت الزيت (على سبيل المثال، نوع الزيت UL19) يضمن الختم وتبديد الحرارة (درجة حرارة التشغيل 12-40 درجة).