وصف المنتجات
قلب تصنيع غرف الأبحاث،مضخات فراغ أشباه الموصلاتتم تصميمها بدقة-للوفاء بالمتطلبات الصارمة للغاية لتصنيع الإلكترونيات الدقيقة. تم تصميم هذه المضخات لتوفير بيئة تفريغ نظيفة ومستقرة وخالية من الاهتزاز-، وهو أمر بالغ الأهمية للعمليات التي يمكن أن يؤدي فيها التلوث المجهري إلى فشل المنتج بشكل كارثي.منتجتستخدم عالميًا تصميمات-خالية من الزيت ومقاومة للتآكل-، وغالبًا ما تستخدم مواد متخصصة يمكنها تحمل غازات المعالجة القاسية. إنها تحقق مستويات الفراغ العالية اللازمة، والتي تصل عادة إلى 0.001 باسكال، مع معدلات تدفق قابلة للتعديل، وقد تم تصميمها لعرض مستويات اهتزاز منخفضة للغاية لمنع تلف الهياكل النانوية الدقيقة.
تسمح فلسفة التصميم المعيارية الخاصة بهم بالتكامل المباشر في مجموعات الأدوات المعقدة وتسهل الخدمة بشكل أسهل، وهو أمر بالغ الأهمية لتقليل وقت توقف الأداة المكلف. التطبيق الأساسي لمضخات فراغ أشباه الموصلاتكما يوحي الاسم، فهي موجودة في صناعة أشباه الموصلات، حيث يتم استخدامها تقريبًا في كل خطوة من خطوات إنتاج الرقائق، بدءًا من الحفر والترسيب وحتى زرع الأيونات والطباعة الحجرية. كما أنها حيوية في المجالات ذات الصلة مثل التغليف الإلكتروني وتصنيع الخلايا الكهروضوئية. وبعيدًا عن الإلكترونيات، تُستخدم هذه المضخات في ماكينات المطاط والبلاستيك لمعالجة مواد من درجة -أشباه الموصلات- عالية النقاء. وفي مجال تغليف المواد الغذائية، فإنها تساعد في تطوير عبوات متخصصة للمكونات الإلكترونية الحساسة. ضمن أنظمة طلاء الفراغ المخصصة،منتجتعتبر ضرورية لتنفيذ عمليات طلاء درجة أشباه الموصلات-التي تتطلب درجة نقاء وموثوقية مطلقتين. عندما يعتمد نجاح عمليتك على فراغ نظيف وثابت،مضخات فراغ أشباه الموصلاتهي الحل النهائي والموثوق.
|
المعلمات الأساسية |
رقم النوع |
||||
|
DLT.LG180 |
دي إل تي إل جي360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
دي إل تي إل جي 1100 |
|
|
سرعة الضخ، م3/ساعة |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
الضغط النهائي، بنسلفانيا |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
سرعة الدوران، ص / دقيقة |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
الضوضاء Lp، ديسيبل (A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
الحد الأقصى لاستهلاك المياه، لتر/دقيقة |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
قطر المدخل، مم |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
قطر منفذ العادم، مم |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
قوة المحرك، كيلوواط |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
وزن رأس المضخة، كجم |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
الوسم : مضخات فراغ أشباه الموصلات، الصين مضخات فراغ أشباه الموصلات المصنعين والموردين والمصنع
